半導體
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當(dāng)今世界,半導體(tǐ)、平板(bǎn)顯示(shì)器(FPD)、太陽能電池等領域的技術革新(xīn)正取得驚人的進歩。半導體裝置向(xiàng)高集(jí)成化方向發展,其(qí)電路的最小寬度從45納(nà)米向(xiàng)32納米縮小。而FPD,則(zé)向大型化的方向發展,正在進行第8代(2500毫米×2300毫米(mǐ))到第10代產品的設備投資。隨之而來的,是對半導體製造裝置及FPD製造裝置等所(suǒ)使用的軸承、直動式產品、機電(diàn)一體化產品的功能要求越來(lái)越高,如低發塵性、低排氣性、耐熱性、耐蝕性(xìng)等。
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當今世(shì)界,半導體、平板顯示器(qì)(FPD)、太陽能電池等領域的技術革新正取得驚人的進歩。半導體裝(zhuāng)置向高集成化方向發展,其電(diàn)路的最(zuì)小寬度從45納(nà)米(mǐ)向32納米縮小。而FPD,則向大型化的方向發(fā)展,正在(zài)進行第8代(2500毫米×2300毫米)到第10代(dài)產品的(de)設備投資(zī)。隨之而來的,是對半導體製造裝置及FPD製造裝置等所使用(yòng)的軸承、直動式產品、機電一體化產品的(de)功能要求越來越高,如低發塵性、低排氣性(xìng)、耐(nài)熱性、耐蝕性等。
有效運用材料技(jì)術、潤(rùn)滑技術、清潔技術、表(biǎo)麵改質技術、精密導向技術核心(xīn)技術開發出的可在真空、清潔、高溫、腐蝕等工況下使用的“SPACEA™係列: 特殊工況用(yòng)軸承、滾珠絲杠、直(zhí)線導軌”的產(chǎn)品陣容,在為各種裝置的高功(gōng)能化及高性能化做貢獻的同時,還致力於解(jiě)決環保課題。
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